Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-3
Условия передачи
Описание
Характеристики
- Аудиторская проверка
- Не проводилась
- Количество подложек размером, мм
- 60×48
- Обрабатываемых за один цикл, шт
- 60
- Диапазон температуры нагрева подложек, °С
- 100-350
- Скорость вращения карусели, об/мин
- 10-60