Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 29М»
Условия передачи
Описание
Характеристики
- Аудиторская проверка
- Не проводилась
- Производительность установки, не менее пластин
- 100 в час
- Регулируемая скорость конвейера
- 120-400 мм/мин
- Неравномерность толщины напыленных пленок, не более
- 3%
- Глубина очистки пластин, не менее
- 10 нм