Автоматизированная установка вакуумного напыления «Оратория 5М»
Условия передачи
Описание
Характеристики
- Аудиторская проверка
- Не проводилась
- Одновременная загрузка подложек, размером 60×48 мм
- 15 шт
- Одновременная разгрузка подложек, размером 76 мм
- 15 шт
- Температура нагрева подложек, °C
- 100-500
- Неравномерность толщины напыленных пленок, не более
- 3%
- Глубина очистки пластин, не менее
- 10 нм