Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-2

Shipping condition

Description

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-2.

Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники.

Установка комплектуется двумя магнетронами и источником ионной очистки.

Установка обеспечивает:
— безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов;
— очистку поверхности изделий перед напылением с помощью ионного источника постоянного тока;
— нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
— автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
— контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению «свидетеля».

По желанию заказчика возможны изменения комплектности установки. Срок поставки установки 8-9 месяцев с момента предоплаты согласно заключенному договору.

Specifications

Auditing: Not conducted

Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт: 40

Диапазон температуры нагрева подложек, °С: 100-350

Скорость вращения карусели, об/мин: 10-60

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин: 80

#D2305013996

Permanent offer, piece by piece, at the request of

По запросу

АО «КВАРЦ»

4.5

Компания

Просмотры 2

Кол-во продаж 0

Аудиторская проверка Не проводилась

Дата публикации May 30, 2023

Получение

Дублинино Изменить

Pick up

no later than 13 July , free of charge