Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-3

Name: Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-3
Brand: АО «КВАРЦ»
SKU: D2305014017
Availability: InStock

Shipping condition

Description

Автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-3.

Особенности:
— безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
— ионно-плазменная очистка подложек;
— контроль напыляемого слоя по системе зеркал;
— пневматический привод заслонки;
— безшестереночный барабан вращения подложек;
— регулируемый по скорости привод барабана;
— изменена конструкция коллектора для передачи информации о температуре и сопротивлении «свидетеля»;
— высоковакуумный тарельчатый затвор заменен на шиберный затвор.

Установка оснащена автономной системой оборотного водоснабжения, а также модемом, позволяющим осуществлять дистанционное управление технологическим процессом, осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

Specifications

Auditing: Not conducted

Количество подложек размером, мм: 60×48

Обрабатываемых за один цикл, шт: 60

Диапазон температуры нагрева подложек, °С: 100-350

Скорость вращения карусели, об/мин: 10-60

#D2305014017

Permanent offer, piece by piece

По запросу

АО «КВАРЦ»

4.5

Компания

Просмотры 1

Кол-во продаж 0

Аудиторская проверка Не проводилась

Дата публикации May 30, 2023

Получение

Москва Изменить

Pick up

no later than 11 October , free of charge